泰瑞达发布Iris 100量产级光学测试平台，Micro-LED逐颗表征迈入量产时代

9月21日，自动化测试设备厂商泰瑞达（Teradyne）正式推出面向Micro-LED器件的量产级光学测试平台Iris 100，将半导体级光学测试引入Micro-LED制造流程。该平台可测量阵列中每一颗发光体，并直接与泰瑞达UltraFLEXplus平台集成，在同一插损位完成光学与电学联合测试，填补了实验室级表征与规模制造之间的设备空白。

Micro-LED当前支撑着先进电子领域增长最快的两个方向——AR微显示与AI数据中心光互连。这两类应用的器件都包含数十万乃至数百万颗独立发光体，每一颗都必须以量产级精度与吞吐完成表征。台式光学仪器虽然能在实验室完成测量，却无法提供量产制造所需的吞吐能力与单位成本经济性，这正是Iris 100要解决的核心矛盾。

在技术能力上，Iris 100以光谱仪与高分辨率相机测量阵列的光谱响应、逐像素亮度与均匀性，通过先进测试并行化与图像处理算法实现高吞吐表征，并依托IG-XL软件在制造早期发现死点、常亮像素与簇状缺陷。平台还提供可溯源至NIST的校准流程，确保跨批次、跨晶圆、跨厂区的绝对测量相关性，这对多基地量产的良率管理尤为关键。

Iris 100同时支持晶圆级测试与成品测试，并规划在后续版本中于同一插损位支持光电探测器测试。泰瑞达半导体测试事业部总裁Shannon Poulin表示，Micro-LED正从实验室走向AR微显示与光互连的批量生产，两项技术都要求以量产吞吐完成逐发光体测试。公司已在ECOC 2026展会展示该平台。

从产业角度看，Iris 100是泰瑞达光学测试布局的自然延伸：2026年早些时候公司推出了面向硅光子与共封装光学的Photon 100，2025年则收购了光子测试专业公司Quantifi Photonics。随着Micro-LED微显示逐渐进入量产阶段，上游设备需求正在从芯片制造延伸至逐像素检测、晶圆测试与终测环节，检测设备正成为决定AR产业链良率与规模交付能力的重要一环。

图：泰瑞达发布Iris 100量产级光学测试平台，Micro-LED逐颗表征迈入量产时代（图片来源：本刊编辑部整理）